[0024] 上記構成の真空容器10を製造する場合、まず、容器本体11に用いる直管状の薄肉金属素管と、補強フィン12を作成する。そして上記金的简体中文翻译

[0024] 上記構成の真空容器10を製造する場合、まず、容器本体11

[0024] 上記構成の真空容器10を製造する場合、まず、容器本体11に用いる直管状の薄肉金属素管と、補強フィン12を作成する。そして上記金属素管を金型に組込んだ状態で、液圧バルジ加工によって内面側から圧力を加えることにより、第1の成形凸部41を成形する。また、補強フィン12を上記金属素管の所定位置にセットし、液圧バルジ加工によって、フィン固定部30の成形と同時に容器本体11に対する補強フィン12の圧着固定を行う。そののち第2の成形凸部42を成形する。また、容器本体11の端部13を所定形状に成形する。[0025] そして真空炉中で加熱し、硬ろう付けを行うことにより、フィン固定部30において補強フィン12の内周部31のろう付けを行う。補強フィン12は、前述のバルジ加工によって容器本体11のフィン固定部30に全周にわたって均等に密着させられているため、ろう付け作業中の補強フィン12の位置決め精度が高く、真空炉中で1000℃付近まで加熱されても平坦な部分22,23の歪みの発生が回避されるとともに、正確な位置に保持でき、上記部分22,23を円弧状部分20,21と同様に補強フィン12に確実に密接させておくことができる。このため、フィン固定部30の全周にわたり、ろう材を毛細管現象によって十分に回り込ませることができ、必要最少限のろう量で高精度のろう付けを実施できる。[0026] 上記実施例は、補強フィン12によって容器本体11の平坦な部分22,23の形状精度を高く維持することができるため、この真空容器10を上下偏向磁石の間に挿入・組込む際に上記部分22,23の上下方向の寸法精度と平坦度を正確に保つことができる。[0027] そして容器本体11に設けられた補強フィン12やフィン固定部30あるいは第1および第2の成形凸部41,42によって容器本体11の剛性を高めることができるため、容器本体11の肉厚が0.3mm 程度と薄くても、容器本体11の耐真空強度が大である。[0028] また、容器本体11の全周にわたるひだ状の第1の成形凸部41を設けているため、ビームの軌道半径等に応じた曲率で容器本体11を湾曲させたい場合に、容器本体11を比較的容易にかつ異常変形を伴うことなく曲げることができ、曲げの寸法精度も高い。[0029] 本実施例の真空容器10は、上述の補強フィン12によって強度が高められているため、成形凸部41,42の数は従来のベローズタイプのひだ数に比べて少なくてすみ、従って容器本体11の内面の凹凸がベローズタイプのものに比べて少ない。このため、容器本体11の内面の表面積が少なく、ガス放出量もきわめて少ないとともに、ビーム軌道に影響を与えるような凹凸を極力減らすことができる。そして容器本体11の肉厚が薄いため、磁場変化による渦電流の発生を実質的に生じることがなく、ビーム軌道の安定化に役立つ。
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在制造具有上述结构的真空容器10时,首先,制成用于容器主体11的直管形薄壁金属管和加强翅片12。然后,在将金属基管组装到模具中的状态下,通过水力膨胀加工从内表面侧施加压力来成型第一成型凸部41。此外,将加强翅片12设置在金属基管的预定位置处,并且通过液压鼓胀来成型翅片固定部30,并且将加强翅片12压接并固定至容器主体11。之后,成型第二成型凸部42。此外,容器主体11的端部13形成为预定形状。<br>然后,通过在真空炉中加热并进行硬钎焊,将加强翅片12的内周部31钎焊在翅片固定部30中。由于加强肋12通过上述凸出工艺在整个圆周上均匀地粘附在容器主体11的肋固定部30上,因此在钎焊期间加强肋12的定位精度高,并且即使当加热到大约℃时,也可以防止扁平部分22和23变形,并可以将其固定在正确的位置,并且可以像弧形部分20和21一样将部分22和23牢固地固定到加强肋12上。可以保持靠近。因此,能够通过毛细管现象将钎料充分地卷绕在翅片固定部30的整个周围,并且能够以最少的必要钎焊量进行高精度的钎焊。<br>[0026]在以上实施例中,由于当将真空容器10插入/组装在垂直偏转磁体之间时,通过加强肋片12可以保持容器主体11的平坦部分22和23的形状精度较高。可以精确地保持部分22和23的垂直尺寸精度和平坦度。<br>[0027]由于可以通过加强翅片12,翅片固定部分30或设置在容器主体11中的第一和第二模制凸出部分41,42来增加容器主体11的刚度,所以可以增加容器主体11的肉。即使厚度薄至约0.3mm,容器主体11的耐真空强度也很大。<br>[0028]此外,由于折叠形状的第一模制凸部41设置在容器主体11的整个圆周上,因此当期望以根据光束的轨道半径等的曲率弯曲容器主体11时。可以相对容易地弯曲图11,并且没有异常变形,并且弯曲尺寸精度高。<br>[0029]由于本实施方式的真空容器10通过上述加强翅片12而提高了强度,因此成型凸部41、42的数量少于传统的波纹管式褶皱的数量,因此容器主体11的内表面上的不规则性小于波纹管类型的不规则性。因此,容器主体11的内表面的表面积小,释放的气体量非常小,并且可以尽可能地减少影响光束轨迹的不规则性。由于容器主体11很薄,所以由于磁场的变化基本上不会产生涡流,这有助于稳定射束轨迹。
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[0024] 在生产上述配置的真空容器10时,首先,用于容器体11的直管薄金属管,创建增强翅片12。 然后,在将金属管集成到模具中的状态中,通过液压凸起处理从内表面侧施加压力,形成第一成型凸部41。 此外,将增强翅片12设置在金属管的预定位置,通过液压凸起加工,对增强翅片12的压接固定,同时成型翅片固定部分30。 然后成型第二成型凸部42。 此外,将容器体 11 的末端 13 成型为预定形状。<br>[0025] 在真空炉中加热,通过进行硬钎焊,在翅片固定部分30中对增强翅片12的内外围部分31进行钎焊。 增强翅片12,由于通过上述凸起处理均匀地粘附在容器体11的翅片固定部分30的整个圆周上,在钎焊过程中,增强翅片12的定位精度高,在真空炉中加热到1000°C左右,避免发生平整部分22和23的应变,可以保持精确位置,部分22和23弧形部分20弧形部分20。 可以可靠地与增强翅片 12 保持紧密,就像 21 一样。 因此,在翅片固定部分30的整个圆周中,钎焊材料可以通过毛细管现象充分旋转,可以进行必要的最低蜡量进行高精度钎焊。<br>[0026] 上述实施例,由于可以通过增强翅片12保持容器体11的平坦部分22和23的平面精度,真空容器10在垂直偏转磁体之间插入和插入时,可以保持部分22和23的垂直方向的尺寸精度和平坦度。<br>[0027] 由于容器体11的增强翅片12和翅片固定部分30或第一和第二成型凸部41和42可以增加容器体11的刚度,容器体11的厚度约为0.3mm,即使厚度较薄,容器体11的真空强度也很大。<br>[0028] 此外,由于在容器体11的整个圆周上提供第一成型凸部41的褶皱,当要弯曲容器体11的曲率与光束的轨道半径等对应的曲率时,容器体11可以相对容易地弯曲,而不会出现异常变形,弯曲尺寸精度也很高。<br>[0029] 本实施例的真空容器10,由于上述增强翅片12的强度增加,成型凸部41和42的数量比传统波纹管型褶皱的数量小,因此容器体11的内表面不规则性比波纹管型的不均匀性要小。 因此,容器体11的内表面面积小,气体释放量也非常小,可以尽可能减少影响光束轨迹的不均匀性。 由于容器体11的厚度较薄,因此基本上不会由于磁场变化而产生涡流,有助于稳定光束轨道。
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[0024]在制造上述构成的真空容器10的情况下,首先,制作用于容器主体11的直管状的薄壁金属素管和强化指状物12。然后,在将上述金属素管组装到模具中的状态下,通过液压巴尔加工从内表面施加压力,从而形成第一成形凸部41。另外,将增强指状物12设置在上述金属素管的规定位置,通过液压巴尔加工,在进行指状固定部30的成型的同时,对容器主体11进行加强指状物12的压接固定。然后,形成第二成形凸部42。另外,将容器主体11的端部13成型为规定形状。<br>[0025]然后,通过在真空炉中加热并进行硬焊接,在夹具固定部30中对加强指状物12的内周31进行焊接。由于强化指状物12通过上述巴尔吉加工在整个周期内均匀地紧贴在容器主体11的指状物固定部30上,因此在焊接作业中增强指状物12的定位精度高,即使在真空炉中加热到1000℃附近,也会使平坦部分2223的歪斜可以避免发生,并且可以保持在正确的位置,并且可以以与圆弧状部分20、21相同的方式使上述部分22、23与增强指状部分12可靠地密切相关。因此,可以绕着手指固定部30的整周,或者通过毛细管现象使蜡材料充分地旋转,能够以所需最小限度的蜡量实施高精度的焊接。<br>[]在上述实施例中,由于增强指状物12可以使容器主体11的平坦部分22、23的形状精度保持较高,所以在将真空容器10插入、组装到上下偏转磁铁之间时,能够正确地保持上述部分2223的上下方向的尺寸精度和平坦度可以。<br>[0027]然后,通过设置在容器主体11上的增强指状物12、指状物固定部30或第一及第二成形凸部41、42,能够提高容器主体11的刚性,因此,即使容器主体11的厚度薄到0.3mm左右,容器主体11的耐真空强度也大。开始。<br>[0028]此外,由于设置了跨越容器主体11的整周的褶皱状的第一模制凸部41,所以在想以与光束的轨道半径等对应的曲率使容器主体11弯曲的情况下,能够使容器主体11弯折而不会相对容易且伴随异常变形,弯曲的尺寸精度也可以贵。<br>[0029]由于本实施例的真空容器10通过上述增强指状物12提高了强度,所以成型凸部41、42的数量与以往的玫瑰型的褶皱数相比减少,因此容器主体11的内面的凹凸比玫瑰型的少。因此,容器主体11的内面的表面积少,气体释放量也极为少,并且能够尽量减少影响光束轨道的凹凸。而且,由于容器主体11的厚度较薄,因此不会实质上产生磁场变化引起的涡流,有助于波束轨道的稳定。<br>
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