マンガンの融点は１２４４℃であり、融点付近では十分に蒸気圧を上げること

マンガンの融点は１２４４℃であり、融点付近では十分に蒸気圧を上げることができる。溶融したマンガンは図２中の５である。図示しない温度センサーにより、溶融マンガンの温度を測り、１３００℃で定温保持となるように設定した。結果として成膜対象３にはマンガンの膜が十分な速度で形成でき、また、形成された膜からはマンガン以外の成分は検出されなかった。金属蒸発用タングステンるつぼは繰り返しの使用でも、変形や反応などの不具合はなく、問題なく使用できた。

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锰的熔点为1244℃，并且可以在熔点附近充分提高蒸汽压 。图中熔融锰为5。熔融锰的温度由温度传感器（未显示） 测量，并设置为保持1300°C的恒定温度。结果， 可以以足够的速率在成膜对象3上形成锰膜， 并且在形成的膜中没有检测到除锰以外的成分。 金属蒸发 用钨罐即使反复使用后也不会出现变形或反应等问题，可以毫无问题地使用。

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锰熔点为1244°C，在熔点附近能够充分提高蒸气压 。熔融锰是图 2 中的 5。通过未图示温度传感器，形成熔融锰 测量温度，并设置为在 1300°C 下保持恒定温度。结果，在成膜对象3中 锰膜可以以足够快的速度形成，并且，从形成的膜中，除锰以外的成分 未检测到。 金属蒸发用钨熔炉即使反复使用，也不会发生变形或反应等不良情况 可以毫无问题地使用。

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锰的熔点是1244℃，熔点附近可以充分提高蒸汽压力 。熔融的锰是图2中的5。通过未图示的温度传感器，熔融锰 的温度，设定为在1300℃保持恒温。结果在成膜对象3中 锰的膜可以以足够的速度形成，另外，从形成的膜中除了锰以外的成分 没有检测到。 金属蒸发用的钨罐即使反复使用，也不会出现变形和反应等问题 没问题，没问题。

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